微细加工技术杂志 统计源期刊

微细加工技术杂志介绍

《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。主要反映半导体集成电路制造业的新工艺和新设备，是该领域科研工作者和工作报告的园地，为科研人员和我国信息产业化、现代化服务。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。

主要栏目：综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等。

本刊主要资助项目有：国家自然科学基金、国家高技术研究发展计划、国家重点基础研究发展计划、国家教育部博士点基金、国家重点实验室开放基金、山东省自然科学基金、中国科学院知识创新工程、中国博士后科学基金、上海市自然科学基金、中国科学院知识创新工程重要方向项目。

本刊主要资助课题有：国家自然科学基金(90307003)、山东省自然科学基金(Y2003G03)、国家重点基础研究发展计划(2003CB716204)、国家自然科学基金(59671051)、山东省科技攻关计划(022090105)、国家高技术研究发展计划(2004AA404260)、国家高技术研究发展计划(2003AA404150)、国家自然科学基金(10572078)、国家自然科学基金(50275140)、国家高技术研究发展计划(2003AA404140)。