沉积范文10篇
时间:2024-01-13 07:01:52
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肺泡蛋白沉积症研究论文
【关键词】肺泡蛋白沉积症
肺泡蛋白沉积症(PAP)是一种以肺泡内大量沉积磷脂蛋白样物为特点的肺部弥漫性疾病,是一种病因与发病机制尚未明确的罕见慢性肺部疾病[1]。现将经病理学确诊的13例PAP患者的临床资料作回顾性分析,报告如下。
1临床资料
1.1一般资料
本组13例,均为北京协和医院呼吸内科住院病例。其中男9例,女4例,年龄35~65岁(平均52.2岁),发病(发现)至确诊时间1.5~48个月,平均13.2个月。首发症状:干咳活动后胸闷、气短最多见11例,无症状于体检发现“两肺弥漫性阴影”2例。粉尘等长期接触史:7例有长期吸烟史(6男1女),石棉1例(11年),滑石粉、金属粉尘2例(分别8年和11年)。体征:发钳7例,杵状指5例。肺部听诊:爆裂音9例。
1.2诊断方法
光诱导沉积技术发展及在光伏中应用
1前言
随着全球能源的日趋紧张,太阳能电池以无污染、无机械转动部件,维护简便、无人值守、建设周期短、规模大小随意,可以方便地与建筑物相结合,市场空间大等独有的优势而受到世界各国的广泛重视,国际上已有众多大公司投入到太阳能电池的研发和生产中。当前,硅太阳能电池的制造面临的挑战是提高太阳能电池的效率以增加单位面积的发电量以及进一步降低制造成本,使其能够广泛应用。在晶体硅太阳能电池中,硅片上电极列阵的制备是非常关键的技术,电极阵列是收集太阳能电池发出电流的必要部件,其性能的好坏直接影响电池的能量转换效率。作为电镀技术的一个分支,光诱导沉积技术成为可以代替传统丝网印刷技术,能够提高太阳能转换效率的新兴金属化技术。在制造业迅速发展的时代,光诱导沉积技术的加工生产并逐步商业化,吸引了太阳能仪器制造公司的注意。传统电镀已经取得优异的成绩,例如在良好的金属底层上,通过恒电位或者恒电流都可以得到优良的金属导线。但是,如何在太阳能电池的硅表面上得到优异的沉积层,却没有得到很好地解决。光诱导沉积技术能够解决传统电镀无法解决的部分问题。作为电沉积的一个分支,光诱导沉积的发展将进一步促进光伏和微电子制造工业的飞速发展。为了系统整理和集中反映光诱导沉积技术及其应用研究的学术进展和科技成就,增进交叉学科领域之间的学术交流,加强科学技术研究与经济建设的联系,促进科技成果的转化,笔者撰写了本文。目的是为了帮助电镀工作者了解新技术的机理以及发展方向。有关光诱导沉积技术的研究在国外已经开展很多,而国内才刚刚起步。而且到目前为止,并没有关于光诱导沉积研究现状及水平的系统总结。该文将对这方面进行综述。
2光诱导沉积分类及其原理
光诱导沉积按反应类型可分为两大类:光诱导分解型和光生电子型。
2.1光诱导分解型
根据Grotthuss–Draper定律,只有吸收辐射(以光子的形式)的分子才会进行光化学转化。但是光诱导分解型沉积可以细分为两类:第一类称为直接光解,是化合物本身直接吸收了太阳能而进行分解反应,即利用一些对光敏感的化合物,使其在光的照射区域分解出金属单质并且沉积出来;第二类为光转化为热,利用一些对热敏感的化合物,采用激光加热使这类化合物在基体表面分解产生金属,从而形成沉积层。
沉积岩石学实践教学改革效果
摘要:在工程教育专业认证背景下,传统地学实验教学不能较好满足学生需求。为了培养地质行业更多的具有国际视野的创新型人才,长江大学地球科学学院在沉积岩石学实验教学中采取了一系列改革,包括更新教学实践体系,引进新型的多媒体无线互动教学系统,构建网络课堂,拓展教学实践方式等,有效提升了学生的综合素质。
关键词:工程教育认证;沉积岩石学;实验教学;多媒体无线互动教学系统
工程质量教育以学生的毕业要求为出发点,动态跟踪改进教学内容、方式方法,以学生基本素质和专业能力培养为核心[1]。长江大学资源勘查工程专业2016年通过教育部“国际工程教育认证”,2019年入选第一批国家一流本科专业建设点,在工程教育认证和“双一流”建设的背景下,面向高等地质教育的国际化发展新趋势,社会对地质专业人才综合素质提出了更高要求[2]。《沉积岩石学》是该专业本科教育的一门核心课程。该课程于2008年被批准为国家级精品课程,2016年获批国家级精品资源共享课。根据学校办学定位及油气勘探的专业特色和优势,《沉积岩石学》课程的教学目标为培养地学基础扎实、综合素质高、社会责任感强,具有国际视野和创新精神,从事油气资源勘探相关的高级工程技术及科研人才[3]。为达到这一目标,《沉积岩石学》课程组不断进行教学内容、授课方式、教育方法等课程建设和教学模式改革创新[3-5]。实践教学是本课程重要的教学改革部分。本文主要介绍课程组近年来基于新型多媒体无线互动教学系统在实验教学中的实践经验。
一、《沉积岩石学》实验教学框架设计更新
《沉积岩石学》实验要求学生在掌握沉积岩课堂基本理论知识的基础上,能够学会并熟练使用偏光显微镜,并借用肉眼、小刀、放大镜等其他鉴定工具,对常见碎屑岩和碳酸盐岩进行系统鉴定,掌握沉积岩的研究、观察和描述方法,沉积岩的分类和命名原则,掌握沉积相的相标志及各种沉积相类型的主要特征[1,4]。沉积岩薄片鉴定是一项综合性很强的基本技能,此前需要进行多门地学类基础课程的学习,所涉课程包括普通地质学、晶体光学、岩浆岩与变质岩、古生物地史学等,这些基础课程学习质量的好坏直接影响到沉积岩薄片鉴定教学的进行和效果[6],因此在课程设置上,我院将以上课程设为《沉积岩石学》的前置课程。针对本校的资源勘查工程专业,共设有24学时,12次课堂实验课(表1),除实验1外,其余实验均需在偏光显微镜下观察沉积岩薄片。在重新修订实验教学大纲时,精简了验证性实验项目的数量,增加了综合性实验占比。在验证性实验项目中设置了实验1、2和7三次实验内容;其他9次实验内容均为综合性实验。而其他专业的实验内容只有8次,内容不包括实验2、8、10、12四次实验。而综合性实验12是结合生产和科研单位的实际情况,检验学生应用于油气资源勘探与开发中复杂地质体的综合分析能力。
二、多媒体无线互动教学系统应用及效果
松辽盆地北部三肇凹陷扶余油层沉积
摘要:松辽盆地北部三肇凹陷扶余油层因断裂较发育且河道砂体分布规律不明,具有资源探明度低、资源评价力度小、钻探成功率低等特点。因此,为分析该油层沉积特征,基于断层、断裂带缝隙对三肇凹陷扶余油层的控制作用,结合测井相与平面相、单井相、岩芯相的分析,阐述了三肇凹陷扶余油层油气运聚及沉积特征。
关键词:松辽盆地;三肇凹陷;油层沉积
松辽盆地北部三肇凹陷扶余油层是我国最为重要的油气生产基地。经过了多年的勘探开发,松辽盆地油层已经进入油气田勘探与开发的中后期,面临着资源接替不足、油藏与开采失衡的严峻局面。而区域三肇凹陷扶余油层具有较大的勘探潜力,成为精细勘探与石油储量提交的主战场。基于此,分析盆地北部三肇凹陷扶余油层的沉积特征就具有非常突出的现实意义。
1松辽盆地北部三肇凹陷扶余油层的断层发育特征
松辽盆地北部三肇凹陷扶余油层包括Ⅰ类断层、Ⅱ类断层、Ⅲ类断层三种类型,Ⅰ类断层为长期活动基底深大断裂、大垂向延伸断层,负责断开青山口底面(均断距约32.9m)、断入基底(均断距约215.8m)、嫩江组底面(均断距约24.2m)、泉头组底面(均断距约41.9m),总体呈现出从上到下断距逐渐增加的特征;Ⅱ类断层为断开泉头组-青山口组(82.9%)、局部断开到嫩江组正断层(16.9%),其中断开青山口组底面的均断距与断开泉头组底面的均断距分别在22.9m、29.9m左右断开嫩江组正断层的均断距则在32.6m左右,总体呈现出从上层到下层逐渐增加的特点;Ⅲ类断层为断开单一解释层位的断层,负责断开嫩江组底面、青山口底面、泉头组底面的均断距分别在16.9m、28.2m左右,主要在青山口期发育[1]。由于SEE-SSW拉张应力场在断裂期干扰,盆地北部形成了近似SN向-SSW向的基底断裂、断线期断裂,进入凹陷期因拉张应力场方向调整为近似东→西向,断裂系统也形成了近南→北向。这种情况下,三肇凹陷扶余油层就呈现出近南北向断层多的特点,最多为北北东-北东向断层,发育近东西向断层,断层断距处于较小的水平,断层走向延伸长度也处于较小的水平,但T2断层系断层断穿青一段、近北东向与近南北向断层密度则处于较大的水平。对比盆地北部层序地层可知,断穿T2反射层并断至T1-1反射层的Ⅱ-Ⅲ断层、仅断穿T2反射层的Ⅱ-Ⅲ类断层是影响盆地北部三肇凹陷中央、边缘地区扶余油层油藏主要类型。因T2反射层上部、下部分别为青山口组一段生油岩、泉三段+泉四段致密砂岩储层,因此,控制盆地北部三肇凹陷扶余油层成藏的关键断层为T2反射层。
2基于测井相与平面相、岩芯相的扶余油层沉积特征
历史学视野下的三农问题历史的沉积与现代趋向
当“三农”问题构成制约中国社会发展和实现现代化进程的突出问题时,对它的关注和寻求解决之道的现实需求,也敦促学术界对其进行学理或学术层面的分析。诚如已故历史学家张荫麟说:“我们的历史兴趣之一是要了解现状,是要追溯现状的由来,众史事和现状之‘发生学的关系’(GeneticRelation)有深浅之不同,至少就
我们所知是如此。按照这个标准,史事和‘现状’之‘发生学的关系’愈深愈重要,故今通史家每以详尽略远为旨。”因此,由现代回观历史,从历史审视现代,就成为现代史学一个不容回避的研究课题。“三农”问题即是如此。
首先,“三农”问题虽是一个现实问题,但从根本上说则是一个历史问题。根据现代化经典理论,现代化意味着工业化和城市化,意味着城市和乡村的中心—边缘、支配—被支配的关系。在现代化进程中,传统的乡村将面临严峻的挑战:是生存还是毁灭,是衰败还是复兴,是遗弃还是重建……任何走向现代化的国家都必然面临并必须解决这一“哈姆雷特”式的难题。中国农村、农业和农民问题正是在现代化背景下提出来的一个问题。在古代,社会是乡土社会,农业是主要产业,民众主要是农民,以农耕文明为特质的均质性社会按照自身的逻辑演绎和发展。因此,农村、农业和农民并没有成为古代社会的重要问题。只是随着以工业文明为载体的工业、城市和工人等现代文明因素的出现,与传统农业文明密切相关的农村、农业和农民问题才成为人类社会的重要问题。
虽然中国迟缓的现代化进程远不及西方那样对传统的乡村社会形成强劲的冲击,并彻底改变传统乡村结构,但在清末民初的社会剧变中,乡村社会所受到的冲击和沉积的矛盾已经是前所未有的了。故有人指出,民国以来的中国社会进程实际上是中国农村经济崩溃的过程,是中国广大农民贫穷化的过程。旧时代的矛盾依然存在,新的社会矛盾又闯了进来,再加上外国侵略和天灾人祸诸种因素,农村问题遂成为引人注目的大问题。到20世纪30年代,‘农村危机’、‘救济农村’成为非常强烈的呼声;‘复兴农村’、‘乡村建设’、‘农村改进’、‘改革土地制度’成为一股强劲的浪潮。那时在几乎所有政党政派的政治纲领中,都有关于农村土地问题的主张。
其次,勿庸置疑,困扰当代社会发展的“三农”问题,有着自近代以来自身形成、发展和演变的线索,当然也是近代历史进程中人们曾想努力解决的问题。当时,人们已经认识到,虽然近代农民生存条件和生存状态与传统社会并无质的差别,但近代以来的农民生存更多地呈现出社会变迁中的具有时代性的特征。因为“我国古时重士农,轻工商,所以农民的地位非常高尚。”但到了近代以后,“工商业一天一天的发达,工商的地位逐渐提高……农民的生活一天一天的变坏,他们的地位一天一天的降低……”这一历史记录表明,近代中国农村问题的出现和累积之所以不同于传统时代,就在于它不仅受到社会政治变动所引发的权力结构动荡的影响,也不仅受到农村阶级结构内在规律引发的土地集中和贫富分化的周期性震荡,而且更在于工业化和城市化进程对于乡村社会生存和发展形成的巨大压力和分解力。因此,立足于工业化和城市化进程探讨中国乡村社会变迁,就成为20世纪30年代《东方杂志》讨论的主题之一。同样,已经被拖入世界经济市场的中国乡村,还不可避免地承受着世界经济的冲击。因此,当时乡村社会研究的国际视角也十分鲜明,如马寅初《世界经济恐慌如何影响及于中国与中国之对策》就是典型一例。而且当时对于中国农民贫穷问题的考察也是从世界史的对比角度入手的,如李树青的《中国家的贫穷程度》即是通过与美国、丹麦农民生活状况的比较而立论的。寻求“三农”问题答案的探索,是近现代以来历史发展进程的重要内容之一。
再则,近代中国农村社会变迁是伴随着工业化、城市化乃至现代化的历史进程而出现的中国社会发展的主题之一。由于近代中国社会变迁既承负着现代化进程也承负着半殖民地化进程的双重困厄,因而乡村社会变迁更多地表现为危机的加剧、交错和寻求解脱危机的步履维艰。在20世纪上半叶急切探求中国乡村社会发展出路同时也是探求中国现代化出路的讨论中,学术界、政界、思想界、文化界、舆论界等各以自己的认识和思考提出了独特的见解。所谓重农主义派、重工主义派、工农并重派、农村复兴派、都市建设派、资本主义派、社会主义派、民生主义派、放任主义派、统制经济派、合作运动派、交通建设派、生产建设派等等都试图在自己的学理论证框架中提出改造和建构中国社会发展的模式。任何模式都有其学理层面的价值,也有其现实试验的意义。当然,任何模式也都是有限的,历史的发展和演进最终都超越了模式本身。不过,历史所积累的认识价值却是永恒的。回观历史,并将当代三农问题置于近代历史进程加以审视,才能够厘清其形成、演变的趋向,也才可以认清其时代特征。这是时代对史学的要求,也是历史学回应并作用于时代的基本功能。
深海热流探测技术研究论文
1海底热流探测的理论基础
海底热流探测,记录的是来自地球内部的热能。当两种不同温度介质接触时,分子的动能会在两种介质之间传递,直至达到热平衡。热流表示由温差引起的能量传递。沉积物热流以热传导为主,在一维稳态纯传导的条件下,地热流q可以用下式描述[1]:
海底地温梯度是一个向量,表示地球等温面法线方向上温度变化程度及变化方向,因此只要知道深度间距dZ和它们之间的温差dT即可。
热导率κ是一个表征沉积物导热能力快慢的物理量,沉积物的组成类别及水含量不同热导率κ也不同。热导率测量的理论基础是从瞬间热脉冲由无限长圆拄形金属探针进入无限大介质的传导理论上发展起来的(Blackwell等,1954;Hyndman等,1979),该理论认为[2,3]当探针温度、沉积物温度与环境温度达到平衡时,热脉冲使探针温度升高,高于环境温度,在热脉冲过后的一定时间内,地热探针内的热敏电阻的温度T(t)由下式给出:
2海底热流原位探测技术
2.1海底温度梯度原位测量
大芯径多模石英光纤生产工艺探讨
1大芯径多模石英光纤的生产工艺
大芯径多模石英光纤是对圆柱形光纤预制棒进行高温加热软化熔缩、套管、拉制、涂覆、套塑、测试和包装一系列流程制成的。光纤预制棒的制备是获得高性能光纤的关键所在,在目前国内外相关光纤预制棒生产商(包括长飞,法尔胜,朗讯阿尔卡特和日本NTT公司)采用的生产工艺中,常见的大芯径多模石英光纤预制棒制备工艺有改进化学气相沉积(MCVD)、等离子体化学气相沉积(PCVD)和轴向化学沉积(VAD)。下面分别介绍这3种制备方法。
1.1MCVD采用MCVD
制备光纤预制棒的过程中,将设备处于封闭的超纯态下,常用原料为SiCl4、CF2Cl2、SF6和C2F4,运载气体通常为O2或Ar,反应设备如图1所示。运载气体通入反应原料蒸发瓶后,携带沉积反应原料进入衬底管中,在加热条件下进行沉积反应,在衬底管内形成一定厚度、成分为SiO2-SiF4的包层。包层沉积完成后先沉积纤芯,待纤芯沉积完成后再进行熔融和缩棒工艺,至此完成预制棒的制造过程。在制备阶跃型多模光纤的预制棒制造工艺中,运载气体流量为恒定值;在制备渐变型多模光纤的预制棒制造工艺中,要根据光纤折射率分布来控制运载气体的流量。另外,为保证光纤沉积的均匀性,在沉积反应过程中要以一定速度旋转衬底管。MCVD制备光纤预制棒的优势是设备投资较低、操作运行较容易、工艺控制性好、易于实现复杂折射率光纤预制棒的制备。缺点在于MCVD方法属于间歇性沉积工艺,存在材料均匀性较差、难以确保剖面的精确度、沉积速率较慢和原料利用率较低的问题。
1.2PCVD
PCVD方法为管内法的化学气相沉积工艺,即在低压下,采用微波腔体加热,使谐振腔内的两极板间电压增高,促使管内反应气体的残余正离子在电场中加速,使其部分电离、活化,生成一种非等温等离子气体。这些非等温等离子气体重新组合释放热能,释放出的能量能促进原料气体发生反应,反应生成的粒子扩散到衬底管内壁上形成沉积,反应机理与MCVD类似。PCVD通常用来制备光纤预制棒的芯棒部分,与套管工艺配合制成光纤预制棒。PCVD制备光纤预制棒的优势是生产设备投资较低、可操控性强、属于低温氧化、易于实现复杂折射率光纤预制棒的制备、可以获得折射率分布接近理想状态的光纤预制棒。缺点在于沉积速率低、要求原料纯度高、属于间歇性沉积工艺。
延边地区二叠系构造地层学
一、延边地区二叠系构造地层学研究
延边造山带是兴凯地块与龙岗一狼林地块之间的碰撞造山带。二叠系是主要沉积地层。长期以来,因沿用正常地层方法而未能正确建立地层层序。自张允平等认为“山秀岭组”可能是外来岩块(1994),邵济安、唐克东等识别了6种活动大陆边缘沉积(1995),已开始认识到延边地区二叠系必须用构造地层学方法才可能正确建立地层层序。
延边造山带主要限定于古洞河及汪清一密江断裂之间,其中的二叠系被花岗岩侵入后成残留块状分布于开山屯区、汪清一图门区和安图等地,大多数建组剖面在开山屯区,仅庙岭组建组于汪清。汪清一密江断裂以东的密江一珲春区是兴凯地块边缘区,因此和造山带区是二个独立的构造地层小区。恢复当时构造沉积环境,造山带二叠系是弧前盆地沉积,兴凯地块边缘区是山弧带和弧后盆地沉积。
1、开山屯区
开山屯区己识别出12个以上的鳞片状冲断岩片,岩片间为出露很宽的糜棱岩带,各组间大多以此相隔或成不正合接触。全区,特别是南部广泛发育有基性、超基性、硅质岩和灰岩等外来岩块,包含于黑色粉砂岩中。地层成挤压带状和透镜状。北部构造线方向为SWW一NEE,南部近SN,形成自北向南和自西向东的推覆。
1.大拉子盆地不正合边界;2.花岗岩;3.糜棱岩断层带;4.地层界线;5.基性、超基性岩块;
地层学研究论文
摘要:运用当前新兴学科—构造地层学的原理和方法,可以重新认识延边地区的二叠系基本上是沉积混杂岩和浊积岩,构成了成层有序和成层无序地层,局部有构造混杂岩组成的无层无序地层;开山屯区是叠瓦状冲断岩片和糜棱岩带发育的典型地区。恢复后的地层序列自下而上是:1、采树沟组—杂、灰色硅泥质板岩;2、大蒜沟组—黑、灰色沉积混杂岩;3、香仁坪组-杂色浊积岩和泥质岩;4、开山屯组—造山前磨拉石;5、柯岛组—黑色浊积岩。构成了古太平洋活动大陆边缘典型地区之一,对于深入认识古太平洋演化有重要意义。
关键词:构造地层学二叠系延边吉林
构造地层学在国内外的研究方兴末艾,是当前地学前沿之一。国际上,构造地层学主要研究构造地层单元(unit)和序列(Seqence)及其大地构造意义。Tectonostratigraphy作为专门术语,首见于1978年印度东北那加(Naga)山系蛇绿岩带的研究中(Srivastavaetal.,1978)。但实际研究始于60年代,包括许靖华教授的一系列研究。70年代晚期至80年代晚期,随着地体研究而加强,但非地体的研究也是大量的。其研究区域遍及世界各主要造山带,同时也包括变质岩区、裂谷、盆地以及对某个蛇绿岩带、杂岩、地层组等的专门研究。86年至今,有关文献己超过百篇,相关的研究文献更多。研究的内容是多方面的,例如划分构造地层单元,研究单元内部岩石、岩组、结构及单元间的构造关系,分析构造的变形、变位(Steltenpohl,1987;Slivaetal.,1994);结合大地构造总结构造一地层事件演化(Surlyk,1991),论述放射虫古生物学在构造地层学中的意义(Bogdanovetal.,1991),探讨构造地层学与全球海平面变化(Harrisetal.,1994),构造地层学与金成矿作用(Bardouxetal.,1994),大陆边缘裂谷与地壳减薄作用的构造地层学模式(Spadinietal.,1995),以及造山带、海沟、地体某个专门单元的构造地层学研究等等。大致可以分为以地层学、岩石学与构造地质学相结合研究构造岩石地层单元和序列的“狭义”构造地层学和与大地构造相结合,辅以古生物、沉积、同位素年代、古地磁等多学科,研究大的地层序列、构造及构造一地层事件演化史的“广义”构造地层学。其中,对造山带的研究颇类似于近年来国内兴起的非史密斯地层学、造山带综合地层学、造山带区域地层学等(殷鸿福等,1997;张克信等,1997;龚一鸣等,1996;冯庆来,1993,1997,1999;王乃文等,1994,1995;郭宪璞等,1996;罗建宁,1994;杜远生,1995,1997;刘本培等,1996;姚华舟等,1994;方宗杰,1998;吴根耀,1998等)。
总体上,国内外对构造地层学的研究,仍处于初步总结的阶段,还不成熟,与国际上相比,目前国内研究范围主要是造山带、变质岩区,且重点在层序重建和原始沉积环境的依复,大多数研究基本上属地层学的范畴。然而,无可否认,在研究构造活动区带及受构造运动影响的地层中,沿用正常地层的方法已不完全适用,必须辅以或主要采用构造地层学的方法,才能正确恢复和建立地层层序,同时构造地层学己日益成为造山带和构造活动区带研究的基础之一,因此,发展和完善构造地层学是一项重要的任务。
*本文为地质行业科学发展基金资助项目(HY979824)成果之一
一、延边地区二叠系构造地层学研究
集成电路铜互连分析论文
摘要:介绍了集成电路铜互连双嵌入式工艺和电镀铜的原理;有机添加剂在电镀铜中的重要作用及对添加剂含量的监测技术;脉冲电镀和化学电镀在铜互连技术中的应用;以及铜互连电镀工艺的发展动态。
关键词:集成电路,铜互连,电镀,阻挡层
1.双嵌入式铜互连工艺
随着芯片集成度的不断提高,铜已经取代铝成为超大规模集成电路制造中的主流互连技术。作为铝的替代物,铜导线可以降低互连阻抗,降低功耗和成本,提高芯片的集成度、器件密度和时钟频率。
由于对铜的刻蚀非常困难,因此铜互连采用双嵌入式工艺,又称双大马士革工艺(DualDamascene),如图1所示,1)首先沉积一层薄的氮化硅(Si3N4)作为扩散阻挡层和刻蚀终止层,2)接着在上面沉积一定厚度的氧化硅(SiO2),3)然后光刻出微通孔(Via),4)对通孔进行部分刻蚀,5)之后再光刻出沟槽(Trench),6)继续刻蚀出完整的通孔和沟槽,7)接着是溅射(PVD)扩散阻挡层(TaN/Ta)和铜种籽层(SeedLayer)。Ta的作用是增强与Cu的黏附性,种籽层是作为电镀时的导电层,8)之后就是铜互连线的电镀工艺,9)最后是退火和化学机械抛光(CMP),对铜镀层进行平坦化处理和清洗。
图1铜互连双嵌入式工艺示意图